視頻采集技術(shù)在四探針測(cè)試系統(tǒng)中的應(yīng)用

　　四探針測(cè)試技術(shù)是半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要監(jiān)測(cè)手段之一，并且在半導(dǎo)體材料的測(cè)量中發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。四探針測(cè)試技術(shù)是一種高的精度測(cè)量技術(shù)，在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針?lè)▽?duì)探針的結(jié)構(gòu)、位置和針尖距都有不同的要求，一般情況下，針距都是很小的，可能低于1mm。在大片徑樣品測(cè)量中，要盡可能地減小測(cè)量區(qū)域，以便更好地觀測(cè)樣品電阻率的不均勻性。
 

　　鑒于以上原因，在測(cè)量時(shí)需要對(duì)測(cè)試臺(tái)、樣品和探針都進(jìn)行細(xì)微的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，保證測(cè)量是在允許的情況下進(jìn)行的。但是人的肉眼的分辨率有限，直接依靠肉眼觀測(cè)容易疲勞而產(chǎn)生誤判，而且不能進(jìn)行記錄，會(huì)給測(cè)量結(jié)果帶來(lái)很大的誤差。通常情況下可以通過(guò)顯微鏡解決肉眼分辨率低的問(wèn)題，但是檢測(cè)起來(lái)還是相當(dāng)麻煩。視頻采集技術(shù)的發(fā)展可以很好地解決以上問(wèn)題，能對(duì)測(cè)試過(guò)程進(jìn)行圖像采集、記錄和分析，達(dá)到實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的要求，而且有很高的分辨率，方便測(cè)量員對(duì)測(cè)量過(guò)程的控制。
 

　　視頻采集技術(shù)在四探針測(cè)量中發(fā)揮著重要作用，主要體現(xiàn)在兩個(gè)方面：
 

　　1)對(duì)顯微鏡監(jiān)測(cè)對(duì)象的圖像進(jìn)行實(shí)時(shí)采集；
 

　　2)對(duì)采集到的視頻數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)視頻信息的記錄與顯示，從而使得傳統(tǒng)的探針測(cè)試臺(tái)與計(jì)算機(jī)技術(shù)緊密地結(jié)合起來(lái)。
 

　　視頻采集技術(shù)的引進(jìn)實(shí)現(xiàn)了對(duì)四探針測(cè)量過(guò)程真正意義上實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，提高了測(cè)試儀的控制精確性，從而提高了測(cè)量結(jié)果的精度和性，尤其對(duì)觀測(cè)樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。