一、配料:進行料前處理,除雜去潮,然后按配方比例稱量各種原材料注意少量的添加劑要放在大料的中間。
二、混合磨細:目的是將各種原料混勻磨細,為預(yù)燒進行*的固相反應(yīng)準備條件.一般采取干磨或濕磨的方法。小批量可采取干磨,大批量可采取攪拌球磨或氣流粉碎的方法,效率較高。
三、預(yù)燒:目的是在高溫下,各原料進行固相反應(yīng),合成壓電陶瓷.此道工序很重要。會直接影響燒結(jié)條件及最終產(chǎn)品的性能。
四、二次細磨:目的是將預(yù)燒過的壓電陶瓷粉末再細振混勻磨細,為成瓷均勻性能一致打好基礎(chǔ)。
五、造粒:目的是使粉料形成高密度的流動性好的顆粒。方法可以手工進行但效率較低,目前高效的方法是采用噴霧造粒。此過程要加入粘合劑。
六、成型:目的是將制好粒的料壓結(jié)成所要求的預(yù)制尺寸的毛坯。
七、排塑:目的是將制粒時加入的粘合劑從毛坯中除掉。
八、燒結(jié)成瓷:將毛坯在高溫下密封燒結(jié)成瓷。此環(huán)節(jié)相當(dāng)重要。
九、外形加工:將燒好的制品磨加工到所需要的成品尺寸。
十、被電極:在要求的陶瓷表面設(shè)置上導(dǎo)電電極。一般方法有銀層燒滲、化學(xué)沉積和真空鍍膜。
十一、高壓極化:使陶瓷內(nèi)部電疇定向排列,從而使陶瓷具有壓電性能。
十二、老化測試:陶瓷性能穩(wěn)定后檢測各項指標(biāo),看是否達到了預(yù)期的性能要求。
相比較而言,壓電陶瓷壓電性強、介電常數(shù)高、可以加工成形狀,但機械品質(zhì)因子較低、電損耗較大、穩(wěn)定性差,因而適合于大功率換能器和寬帶濾波器等應(yīng)用,但對高頻、高穩(wěn)定應(yīng)用不理想。石英等壓電單晶壓電性弱,介電常數(shù)很低,受切型限制存在尺寸局限,但穩(wěn)定性很高,機械品質(zhì)因子高,多用來作標(biāo)準頻率控制的振子、高選擇性(多屬高頻狹帶通)的濾波器以及高頻、高溫超聲換能器等。