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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱:

高低溫真空探針臺(tái)/兼容I-V/C-V/R-F測(cè)試

產(chǎn)品型號(hào):

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

所在地:北京市

更新日期:2024-10-10

產(chǎn)品簡介:

高低溫真空探針臺(tái)/兼容I-V/C-V/R-F測(cè)試,溫度范圍77K-675K(液氮);可應(yīng)用于真空及常規(guī)環(huán)境;chao高溫度分辨率;特殊客制低溫系統(tǒng);具有穩(wěn)定性

產(chǎn)品特性Product characteristics
品牌華測(cè)

Huace HT-11高低溫真空探針臺(tái)



特點(diǎn)/應(yīng)用

◆ 2至6英寸樣品臺(tái)

◆ 高真空腔體

◆ 防輻射屏設(shè)計(jì),樣品溫度均勻性更好

◆ 77K-675K高低溫環(huán)境

◆ 兼容IV/CV/RF測(cè)試

◆ 外置多探針臂,移動(dòng)行程大

◆ 經(jīng)濟(jì)實(shí)用,可無縫升級(jí)


極低溫測(cè)試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試:

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

  晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。

技術(shù)參數(shù)

腔體規(guī)格

樣品臺(tái)尺寸

2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定

彈簧壓片

觀察窗口

2英寸/4英寸/6英寸

真空度

10-6torr

探針臂接口

4~6個(gè)探針臂接口

其他接口

電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式

液氮/液氦/制冷機(jī)

溫度范圍

77K到573K/4.5K到573K

溫控精度

0.1K/0.01K/0.001K

穩(wěn)定性

±1K/±0.1K/±0.01K外形

外形

880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高

重量

約20KG/30KG

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程

水平360度旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂

X-Y-Z移動(dòng)行程

50mm*50mm*50mm

結(jié)構(gòu)

外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度

10微米/1微米

線纜

同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

頻率支持

DC-67GHZ

針尖直徑

0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

其他組件

真空組件

分子泵組/機(jī)械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)

可選附件:

超高溫配件;
顯示器;
轉(zhuǎn)接頭;
射頻測(cè)試配件;

屏蔽箱;

光學(xué)平臺(tái);
鍍金卡盤;
光電測(cè)試配件;

高壓測(cè)試配件;

分子泵組;

激光系統(tǒng);

氣敏測(cè)試配件;



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